超聲波的頻率高低與空化作用有相當(dāng)大的關(guān)系，超聲波頻率越高，空化作用值越大，聲壓強(qiáng)度也越大。超聲波頻率越低，產(chǎn)生的空穴大但數(shù)量少，爆破力強(qiáng)，超聲波頻率增加時(shí)，空穴小而數(shù)量多，爆破力小而范圍廣，清洗比較精細(xì)。

如果頻率增加到超高頻近千KHZ時(shí)將不再產(chǎn)生空化作用，其清洗能量主要是靠加速度能量，將達(dá)到重力加速度的100倍，用于去除亞微米粒子污染，國(guó)內(nèi)應(yīng)用領(lǐng)域較少。

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